機器データベース

機器詳細

機器名 表面粗さ解析測定器
コード 0047
分野 その他
目的別分類
メーカー名 株式会社東京精密
型式 SURFCOM 1500DX
製造年
写真
仕様 <触針式の表面粗さ計> 
数ナノメートルの精度で表面粗さや薄膜の厚み測定に用います。横方向と高さ方向の測定範囲はそれぞれ100 mmと1 mm。高さ方向の測定精度は2 nmです。
装置の概要 試料表面を移動するダイアモンド針の上下を電気的に拡大して凹凸を測定する装置です。 試料サイズは数ミリ角~10 cm角程度です。
外部利用可否 ×
管理責任者 喜久田 寿郎・工学部
機器管理者 喜久田 寿郎・工学部
キャンパス 五福
設置場所 化学棟3509室
設置年度 2004年度
学内利用申請 機器分析施設に利用申請書を提出してください。