機器詳細
| 機器名 | 表面粗さ解析測定器 |
| 機器コード | B080 |
| 分野 | その他 |
| 目的別分類 | |
| メーカー名 | 株式会社東京精密 |
| 型式 | SURFCOM 1500DX |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | ＜触針式の表面粗さ計＞ 数ナノメートルの精度で表面粗さや薄膜の厚み測定に用います。横方向と高さ方向の測定範囲はそれぞれ100 mmと1 mm。高さ方向の測定精度は2 nmです。 |
| 装置の概要 | 試料表面を移動するダイアモンド針の上下を電気的に拡大して凹凸を測定する装置です。 試料サイズは数ミリ角～10 cm角程度です。 |
| 外部利用可否 | × |
| 管理責任者 | 喜久田 寿郎・工学部 |
| 機器管理者 |
喜久田 寿郎・工学部 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 大学院棟 7410室前 |
| 設置年度 | 2004年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |