機器詳細
| 機器名 | X線光電子分光分析装置 |
| コード | 0044 |
| 分野 | 化学金属電気電子物理その他 |
| 目的別分類 | 高分子表面物性無機有機 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 |
| 型式 | ESCALAB250Xi |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | ○高感度・高エネルギー分解能
高感度：2.5 Mcps (Ag3d5/2、 FWHM=0.6 eV) 高エネルギー分解能0.45 eV (Ag3d5/2 ピークの半値幅) ○マイクロフォーカス型モノクロメーター ポント・アンド・シュート（200～950 μm) ダメージを最小限に低減 視野制限により20 μm以下の空間分解能 ○イメージング機能 高空間分解能光電子イメージング（空間分解能< 3 μm） 光電子イメーシﾞからのより微小領域のスペクトル抽出 ○イオン銃 アルゴン エネルギー範囲 ： 100 eV～3 keV 最小スポットサイズ： 200 μm ○標準プレプロック 予備排気／予備処理チャンバー（水素ガス） ○帯電中和銃搭載 |
| 装置の概要 | 固体試料にX線を照射すると、試料最表面から光電子が放出されます。光電子の運動エネルギーを光電子アナライザーで分析し、結合エネルギー（束縛エネルギー）を求めることができます。結合エネルギーは元素や元素の軌道、化学状態によって異なるので、得られるスペクトルの解析から、どのような元素がどれくらい含まれているのかがわかります（定性・定量分析）。また各元素の化学状態（結合状態）もわかります。 ○3 mm以下の厚さの固体試料を測定できます。揮発成分のない試料に限ります。 ○XPSは表面感度が非常に高く、超高真空中で分析します。樹脂や繊維で保管した試料では、表面が汚染されてしまいます。少なくとも、手で触れることは避けて下さい。手袋を着用し、ピンセットを必ず使用して下さい。測定面はピンセットでも触れないでください。できれば、自身専用のピンセット・手袋を準備してください。 ○表面汚染の低減のために、試料調製から測定までは速やかに行ってください。 ○粉末試料の場合、減圧にかなりの時間を要します。測定時にはチャージアップの影響を受けやすいので、中和銃を使用しましょう。試料は可能な限り、平たんに設置しましょう。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 岸本 悠里・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 学術研究・産学連携本部 （G14） |
| 設置年度 | 2010年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |