機器データベース

機器詳細

機器名 X線光電子分光分析装置
コード 0044
分野 化学金属電気電子物理その他
目的別分類 高分子表面物性無機有機
メーカー名 サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社
型式 ESCALAB250Xi
製造年
写真
仕様 ○高感度・高エネルギー分解能   
高感度:2.5 Mcps (Ag3d5/2、 FWHM=0.6 eV)   
高エネルギー分解能0.45 eV (Ag3d5/2 ピークの半値幅) 
○マイクロフォーカス型モノクロメーター   
ポント・アンド・シュート(200~950 μm)   
ダメージを最小限に低減   
視野制限により20 μm以下の空間分解能 
○イメージング機能   
高空間分解能光電子イメージング(空間分解能< 3 μm) 
光電子イメージからのより微小領域のスペクトル抽出 
○イオン銃 
アルゴン 
エネルギー範囲 : 100 eV~3 keV 
最少スポットサイズ: 200 μm 
○標準プレプロック 
予備排気/予備処理チャンバー(水素ガス) 
○帯電中和銃搭載
装置の概要 固体試料にX線を照射すると、試料最表面から光電子が放出されます。光電子の運動エネルギーを光電子アナライザーで分析し、結合エネルギー(束縛エネルギー)を求めることができます。結合エネルギーは元素や元素の軌道、化学状態によって異なるので、得られるスペクトルの解析から、どのような元素がどれくらい含まれているのかがわかります(定性・定量分析)。また各元素の化学状態(結合状態)もわかります。 ○5mm以下の厚さの固体試料を測定できます。揮発成分のない試料に限ります。 ○XPSは表面感度が非常に高く、超高真空中で分析します。樹脂や繊維で保管した試料では、表面が汚染されてしまいます。少なくとも、手で触れることは避けて下さい。手袋を着用し、ピンセットを必ず使用して下さい。測定面はピンセットでも触れないでください。できれば、自身専用のピンセット・手袋を準備してください。 ○表面汚染の低減のために、試料調製から測定までは速やかに行ってください。 ○粉末試料の場合、減圧にかなりの時間を要します。測定時にはチャージアップの影響を受けやすいので、中和銃を使用しましょう。試料は可能な限り、平たんに設置しましょう。
外部利用可否
管理責任者 小野 恭史・機器分析施設
機器管理者 小野 恭史・機器分析施設
キャンパス 五福
設置場所 学術研究・産学連携本部 (G14)
設置年度 2010年度
学内利用申請 機器分析施設に利用申請書を提出してください。