機器詳細
| 機器名 | 電界放射型走査電子顕微鏡 |
| コード | 0038 |
| 分野 | 化学金属電気電子物理その他 |
| 目的別分類 | 形状観察高分子表面無機有機 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型式 | JSM-6700F |
| 製造年 | |
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| 仕様 | 分解能 1.0 nm（加速電圧15kV時）、2.2nm（加速電圧1 KV時） 加速電圧 0.5～30 kV 倍率 ×25～650,000 試料寸法 150 nmφ 試料移動 X方向：70 mm Y方向：50 mm Z方向：1.5～25 mm 回転 ：360° (エンドレス) |
| 装置の概要 | 真空中に置いた試料を電子線でＸ－Ｙの二次元方向に走査を行い、試料表層から発生する二次電子などの信号を検出し、ブラウン管上に二次電子像を映し出して、試料表面の形態、微細構造を観察できます。フィールドエミッション型で、電子線を極細く絞れることができ、電流を多く流せることから、通常のSEMに比べて高輝度、高分解能な像観察が可能です。さらに、付属のエネルギー分散型Ｘ線分析装置を用いて組成元素の分布、定性、定量の分析もできます。 《操作方法》 試料は適当な大きさに切り出して、目的となる観察面を露出させ、導電性のテープなどで試料台にしっかりと固定させます。そのとき、試料が非導電性の場合は白金などのスパッタリングによりコーティングを行う必要があります。作製した試料ホルダーを装置内部に挿入し、真空状態にします。加速電圧をONにし、コントローラーを用い画面の明るさ調整、ピント合わせをして表面観察を行います。 《利用範囲》 高倍率から低倍率まで深い焦点深度でシャープな像が観察でき、微小領域に含まれる元素の分析もできるため、半導体をはじめとする超微細加工、超微粒子、および医学生物分野において広く活用されています。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 学術研究・産学連携本部 （G14） |
| 設置年度 | 2004年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |