機器詳細
| 機器名 | 電界放射型走査電子顕微鏡 |
| コード | 0038 |
| 分野 | 化学金属電気電子物理その他 |
| 目的別分類 | 形状観察高分子表面無機有機 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型式 | JSM-6700F |
| 製造年 | |
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| 仕様 | 分解能 1.0 nm（加速電圧15kV時）、2.2nm（加速電圧1 KV時） 加速電圧 0.5～30 kV 倍率 ×25～650,000 試料寸法 150 nmφ 試料移動 X方向：70 mm Y方向：50 mm Z方向：1.5～25 mm 回転 ：360° (エンドレス) |
| 装置の概要 | 試料に電子線を当てて、試料表面の形態、微細構造を観察する装置です。電界放射型（FE：Field Emission）であるため、汎用のＷフィラメントを用いたSEMに比べて高輝度、高分解能な像観察が可能です。
セミインレンズ方式であるため、短焦点での観察が可能であり、高い分解能が得られます。 《操作方法》 試料は適当な大きさに切り出して、目的となる観察面を露出させ、導電性のテープなどで試料台にしっかりと固定します。試料台を固定した試料ホルダーを装置内部に挿入し、十分な真空状態で加速電圧をONにして電子線を発生させます。コントローラーを用いて画面の明るさ調整、ピント合わせ、軸調整を行い、表面観察を行います。高真空状態で電子線を発生させるので、事前に試料を十分に乾燥させておく必要があります。 《利用範囲》セミインレンズ方式であるため、磁性体の観察はお断りしています。導電性が低い試料を観察する際は、試料表面に導電性を与える前処理が必要です。高倍率から低倍率まで深い焦点深度でシャープな像が観察でき、材料や半導体デバイス、超微粒子、医学、および生物学などの様々な分野において広く活用されています。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 学術研究・産学連携本部 （G14） |
| 設置年度 | 2004年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |