機器詳細
| 機器名 | 走査型プローブ顕微鏡AFM |
| コード | 0031 |
| 分野 | 化学金属生命科学電気電子物理 |
| 目的別分類 | 形状観察表面無機 |
| メーカー名 | SPM-9500J2、アルファサイエンス㈱ |
| 型式 | ㈱島津製作所 、TRIBOSCOPE |
| 製造年 | |
| 写真 |
|
| 仕様 | ≪ＡＦＭ≫ コンタクトモード及びダイナミックモードによる原子間力顕微鏡観察 最大走査範囲 (X、Y) 125 μm×125 μm 最大測定範囲 (Z) ８ μm 変位検出系LD／光てこ／4分割PSD 試料最大形状 φ24 mm×8 mm 画像処理：傾斜補正、ノイズライン除去、局所フィルター、周波数フィルター、画像拡大、画像反転、画像回転など 画像解析：断面形状解析、線粗さ解析、表面粗さ解析、パワースペクトル解析、自己相関解析、フラクタル解析など 画像表示：濃淡画像表示、三次元表示など 複数画面：最大40画面 ≪ナノインデンター≫ 最大荷重 ：10 mN以上 荷重分解能 ：＜ 1 nN 最大変位 ：＞ 5 μN 変位分解能 ：＜ 0.02 nm 温度ドリフト：＜ 0.05 nm / sec |
| 装置の概要 | ≪ＡＦＭ≫ カンチレバーを試料表面の原子間の斥力が働くところまで近づけ、レバーのたわみをレーザーセンサーで検知し、たわみ量（＝斥力）が一定になるようカンチレバーをZ軸方向にフィードバック制御する。カンチレバーのZ変位量を画像化し、トポグラフィー像が得られる。 ≪ＡＦＭ≫ サンプル、カンチレバーを取り付け、レーザービームの調整を行う。フィードバックに入り、スキャン。半導体、ファイバー、ポリマー薄膜、粉末、生物試料等導電性がない試料でも測定可能。 ≪ナノインデンター≫ トライボスコープは米国Hysitron社が開発した静電容量型トランスデューサーにより押込み圧子で表面形状像を作成すると共に試料の硬さと弾性率を測定出来る。押込み位置を特定することにより再現性の良いデータが得られ、局所領域の評価が正確に出来る。 AFMに取り付けインデント圧子（バーコビッチ圧子）を用いてSPM像を作成することで押込み位置を特定しナノスケールでの力学特性評価が出来る。微小荷重押込み試験、磨耗試験、薄膜評価、In-Situの表面形状像、圧子先端補正機能、インデント条件の設定等の特徴を有する超微小荷重硬度計測器である。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 |
高野 登・工学部 會田 哲夫・都市デザイン学部 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 工学部共通講義棟 2205-1 室（G6） |
| 設置年度 | 2002年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |