機器データベース

機器詳細

機器名 走査型プローブ顕微鏡AFM
コード 0031
分野 化学金属生命科学電気電子物理
目的別分類 形状観察表面無機
メーカー名 SPM-9500J2
型式 ㈱島津製作所
製造年
写真
仕様 ≪AFM≫ 
コンタクトモード及びダイナミックモードによる原子間力顕微鏡観察 
 最大走査範囲 (X、Y) 125 μm×125 μm 
 最大測定範囲 (Z) 8 μm 
 変位検出系LD/光てこ/4分割PSD 
 試料最大形状 φ24 mm×8 mm 

画像処理:傾斜補正、ノイズライン除去、局所フィルター、周波数フィルター、画像拡大、画像反転、画像回転など
画像解析:断面形状解析、線粗さ解析、表面粗さ解析、パワースペクトル解析、自己相関解析、フラクタル解析など 
画像表示:濃淡画像表示、三次元表示など 
複数画面:最大40画面
装置の概要 ≪AFM≫ カンチレバーを試料表面の原子間の斥力が働くところまで近づけ、レバーのたわみをレーザーセンサーで検知し、たわみ量(=斥力)が一定になるようカンチレバーをZ軸方向にフィードバック制御する。カンチレバーのZ変位量を画像化し、トポグラフィー像が得られる。 ≪AFM≫ サンプル、カンチレバーを取り付け、レーザービームの調整を行う。フィードバックに入り、スキャン。半導体、ファイバー、ポリマー薄膜、粉末、生物試料等導電性がない試料でも測定可能。
外部利用可否 ×
管理責任者 小野 恭史・機器分析施設
機器管理者 高野 登・工学部
キャンパス 五福
設置場所 総合研究棟 (E3)
設置年度 2002年度
学内利用申請 機器分析施設に利用申請書を提出してください。