機器詳細
| 機器名 | 波長分散型蛍光X線分析装置 |
| コード | 0025 |
| 分野 | その他 |
| 目的別分類 | |
| メーカー名 | スペクトリス株式会社 |
| 型式 | ＰＷ2404Ｒ |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | 測定元素範囲 ４Be～92U
試料形態 液体、固体、粉体、大型試料 高圧発生器 最大４kW Ｘ線管球 セラミックス絶縁型スーパーシャープＸ線管球 Rhアノード ゴニオメータ θ、２θ各軸共ダイレクト光読み取りエンコーダ付属 検出器 シンチレーション検出器、ガスフロー検出器 データ処理 定性、定量（検量線法、FP法、薄膜FP法） |
| 装置の概要 | 試料にＸ線を照射すると、原子に吸収されたＸ線の一部が元素の種類により、特有の波長をもった蛍光Ｘ線を放出する。これを分光結晶で分光しＸ線の波長と強度を測定する事で、試料中に含まれる元素の種類及び濃度を測定することができる。蛍光Ｘ線分析法の特長として、前処理の簡便さ、非破壊分析であること、および標準試料無しに定量を行うことができる。 サンプルは、液体、固体、粉体等を、サンプルホルダに入れ測定を行う。５インチウェハのような大型試料は、大型試料アダプタを用いて測定を行う。サンプルのセット以降の操作は、全てデータ処理用コンピュータによって行う。 定量分析は、検量線を作成して行う検量線法、または標準試料無しで定量値を求めるファンダメンタルパラメータ法（ＦＰ法）で行う。ＦＰ法ではまた、基板上の薄膜の膜厚及び組成を測定することも可能である。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 |
佐伯 淳・都市デザイン学部 山田 聖・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 学術研究・産学連携本部 （G14） |
| 設置年度 | 1998年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |