機器データベース

機器詳細

機器名 波長分散型蛍光X線分析装置
コード 0025
分野 その他
目的別分類
メーカー名 スペクトリス株式会社
型式 PW2404R
製造年
写真
仕様 測定元素範囲 Be~92U  
試料形態 液体、固体、粉体、大型試料 
高圧発生器    最大4kW  
X線管球     セラミックス絶縁型スーパーシャープX線管球  Rhアノード 
ゴニオメータ   θ、2θ各軸共ダイレクト光読み取りエンコーダ付属  
検出器      シンチレーション検出器、ガスフロー検出器  
データ処理    定性、定量(検量線法、FP法、薄膜FP法)
装置の概要  試料にX線を照射すると、原子に吸収されたX線の一部が元素の種類により、特有の波長をもった蛍光X線を放出する。これを分光結晶で分光しX線の波長と強度を測定する事で、試料中に含まれる元素の種類及び濃度を測定することができる。蛍光X線分析法の特長として、前処理の簡便さ、非破壊分析であること、および標準試料無しに定量を行うことができる。  サンプルは、液体、固体、粉体等を、サンプルホルダに入れ測定を行う。5インチウェハのような大型試料は、大型試料アダプタを用いて測定を行う。サンプルのセット以降の操作は、全てデータ処理用コンピュータによって行う。  定量分析は、検量線を作成して行う検量線法、または標準試料無しで定量値を求めるファンダメンタルパラメータ法(FP法)で行う。FP法ではまた、基板上の薄膜の膜厚及び組成を測定することも可能である。
外部利用可否
管理責任者 小野 恭史・機器分析施設
機器管理者 佐伯 淳・都市デザイン学部
山田 聖・機器分析施設
キャンパス 五福
設置場所 学術研究・産学連携本部  (G14)
設置年度 1998年度
学内利用申請 機器分析施設に利用申請書を提出してください。