機器詳細
| 機器名 | グロー放電発光分光装置 |
| コード | 0024 |
| 分野 | 金属電気電子物理 |
| 目的別分類 | 表面物性無機 |
| メーカー名 | 株式会社堀場製作所 |
| 型式 | GD-Profiler2 |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | 測定径 ： 1 mm、2 mm、4 mm、７ ｍｍ、10 mm 試料サイズ ： 最小）10 mm角、φ10 ｍｍ 最大）200 mm角 測定元素 ： H～U（測定できない元素もある） 測定感度 ： 数10 ppm～（試料や元素に依存） 深さ方向分解能： 数nm～（試料表面の形状に依存） 測定深さ ： 数nm～100 μｍ |
| 装置の概要 | 試料をスパッタ部分に取付け、スパッタ部分にArガスを導入し、試料の背面より13.56MHz の高周波を印可すると、試料表面でArプラズマが点灯し、プラズマ中のAr＋がマイナスに帯電した試料表面に衝突・スパッタし、試料表面から原子が飛び出し、原子がプラズマ中で励起・発光する。この発光は原子発光であり、元素分析をすることが可能である。また、この一連の過程が、連続的に起こることで試料の深さ方向への元素分析ができる。 本装置は、試料をスパッタ部分に取付け、スパッタ部分のみを真空にし、測定するという簡単なシステムです。また、スパッタ速度も4 μm / min（Fe基準）と早く、迅速に分析することができ、発光分析を用いているため、感度も良く、めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの研究開発や製膜評価において、幅広く活用することができます。また、高周波方式グロー放電を採用しているため、非導電性試料でも表面分析が可能です。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 山田 聖・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 富山市新産業支援センター 機器分析室 （G15） |
| 設置年度 | 2007年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |