機器詳細
| 機器名 | 集束イオンビーム加工観察装置 |
| コード | 0023 |
| 分野 | 金属電気電子その他 |
| 目的別分類 | 高分子ナノ材料無機有機 |
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ |
| 型式 | FB-2100 |
| 製造年 | |
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| 仕様 | 加速電圧 10～40 kV可変 (5 kVステップ) 最大ビーム電流 60 nA以上 最大ビーム電流密度 50 A / cm2以上 像分解能 (SIM像) 6 nm（加速電圧40 kV、WD 5.62 ｍｍ） 倍率 (SIM像) 700 ～ 90,000倍（WD 5.62 ｍｍ時） 指定位置加工 マイクロサンプリング法 |
| 装置の概要 | イオン銃部に搭載されたGaをイオン化し、サンプルへ集束されたイオンビームとして照射する。照射されたイオンビームにより任意の形状にサンプルを加工する。また、ガスを用いて表面にデポジションを行う。 本装置の加工制御を行うPCより、加工範囲や位置を指定して高い位置精度で加工を行います。 対象としては、金属から高分子材料の広い各種材料を加工することが可能です。TEM観察用の切片作製、SEM観察用の断面作製の用途に使用し、nm単位での解析を行うことが可能です。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 富山市新産業支援センター 機器分析室 （G15） |
| 設置年度 | 2007年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |