機器詳細
| 機器名 | クイックカーボンコーター |
| 機器コード | I030 |
| 分野 | 化学環境金属電気電子物理 |
| 目的別分類 | 形状観察高分子表面無機有機 |
| メーカー名 | サンユー電子株式会社 |
| 型式 | SC－701CT |
| 製造年 | |
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| 仕様 | カーボンホルダー：カートリッジ型 電極：1組 コーティング回数：１回から１９回（任意設定） コーティング時間：0.3sec/1回 チャンバーサイズ：内径Φ160mm × D160mm 試料交換方法：前面ドア開閉式 排気装置：直結型ロータリーポンプ：100L/min（自動リーク付） |
| 装置の概要 | 〇真空中でカーボンを高温に加熱して蒸発させ、電極直下に設置した試料の表面にカーボン被膜を作製する装置。導電性のない試料のSEMやEPMAでの観察の際の前処理として使われる。カーボンは二次電子放出率がやや小さいとされるが、他のコーテイングと比べて原子番号が小さく、Kα線が他原子と重なりにくく、さらに付きまわりも良いことから反射電子像観察や元素分析を行う際には好適であり、二次電子像観察の際にはカーボン粒子は見えない。高真空でのフラッシュ式蒸着法を採用しており、個人差の少ないカーボン蒸着が可能。蒸着作業時毎のカーボン棒の研削が不要。 〇管理者から操作方法を教授された利用者のみ使用可能。予約は不要。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 |
山田 聖・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 工学部 |
| 設置年度 | |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |