機器詳細
| 機器名 | 白金コーター |
| コード | 0138 |
| 分野 | 化学環境金属物理 |
| 目的別分類 | 形状観察高分子表面無機有機 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型式 | オートファインコーターJFC-1600 |
| 製造年 | |
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| 仕様 | スパッタリング方式：マグネトロン型 使用圧力：～10-1Pa スパッタリング電流：10、20、30、40mA（プリセット式） ターゲット：直径57mm白金 試料台：直径64ｍｍ 真空チャンバ：外径120ｍｍ×高さ100ｍｍ、パイレックスガラス製 真空モニタ：ピラニ真空計 タイマー：1～300秒 排気系：直結型ロータリーポンプ30L/min |
| 装置の概要 | 〇スパッタリングにより白金を試料にコーティングし、導電性を付与する装置。試料上の粒子の大きさが数nm程度と小さい（金コーティングでは数十nm）ため、10万倍程度の高倍率でのSEM観察の際によく使用される。Ｍα線が他の元素と重なることがあり、元素分析には不適。〇管理者から操作方法を教授された利用者のみ使用可能。予約は不要。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 工学部 |
| 設置年度 | |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |