機器詳細
| 機器名 | 多角バレルスパッタリング装置 |
| 機器コード | Z |
| 分野 | 化学環境電気電子その他 |
| 目的別分類 | 表面 |
| メーカー名 | 株式会社YOUTEC |
| 型式 | 不明 |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | |
| 装置の概要 | 本装置はスパッタリング技術を基にしたドライの表面修飾法で、各種微粒子材料や三次元材料表面を金属、合金、酸化物、窒化物等から成る薄膜やナノ粒子で均一に修飾できます（この装置を使用したい方は機器管理者に直接お問い合わせ下さい）。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 阿部 孝之・水素同位体科学研究センター |
| 機器管理者 |
阿部 孝之・水素同位体科学研究センター |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 水素同位体科学研究センター |
| 設置年度 | 2002年度 |
| 学内利用申請 | 指導教員から直接、管理者の先生にご連絡ください。 |