機器データベース

イオン源
・2個のTrueFocusイオン源
・加速電圧：100eV～10keV
・ビーム電流密度：～10mA/cm2
・ミリング角度：－15o～＋10o
・使用するイオン源の選択が可能（1個または2個）

試料ホルダー
・ローディングステーション付
・クランプ機構により、影を作らずに0oまでの両面ミリングが可能

試料ステージ
・360o連続回転（ビームシークエンス付）
・ロッキング（首振り）

試料冷却
・内蔵デュワーを用いた液体窒素冷却（温度インターロック機構付）
・冷却時間：拡張デュワー（18+時間）

照明
・試料上部（反射証明）および試料下部（透過照明）の2つ

自動停止
・タイマー、温度、レーザー検知による自動停止機能

プロセスガス
・アルゴンガス（99.999%）、供給ガス圧15psi

ダメージのない高品質の透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いビーム径を維持します。イオンビームの加速電圧は100eV～10keVの範囲で、ミリング角度は-15°～+10°の範囲で任意に設定出来ますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程でご利用頂けます。ロードロック機構（予備排気室）を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行うことが可能です。