機器詳細
| 機器名 | 薄膜構造評価用X線回折装置 |
| 機器コード | E140 |
| 分野 | その他 |
| 目的別分類 | |
| メーカー名 | (株)リガク |
| 型式 | ATX-E |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | Ｘ線管球 ・種類 Cu Kα 最大1.5 kW Ｘ線発生部 ・最大出力 3.0 kW ・管電圧設定 20～60 kV 2 kVステップ ・管電流設定 2～80 mA 2 mAステップ 4結晶モノクロメータ、Ｘ線集光ミラー（多層膜ミラー） ゴニオ設定再現性 1 / 10000°（２θ、ω） ２θ/ω、ω/２θ、２θ、ω、χ（カイ）、φ、反射率測定、逆格子マッピング、極点図測定、ロッキングカーブ等各種測定が可能。 In－Plane測定は不可。 ソフトウェア ・3D Explore Ver．2.5 ・Global Fit Ver．1.32等 |
| 装置の概要 | 試料にＸ線を照射し、回折角を測定することにより結晶相の同定を行う。 初めて利用する場合は、利用前に要講習。 |
| 外部利用可否 | ○ |
| 管理責任者 | 小野 恭史・機器分析施設 |
| 機器管理者 |
森 雅之・工学部 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 総合研究棟２階 超薄膜構造解析X線回折装置室 （E3） |
| 設置年度 | 2002年度 |
| 学内利用申請 | 機器分析施設に利用申請書を提出してください。 |