機器詳細
| 機器名 | 走査電子顕微鏡（SEM） |
| 機器コード | Z |
| 分野 | 化学金属電気電子 |
| 目的別分類 | 形状観察ナノ材料表面 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ |
| 型式 | S-3500H |
| 製造年 | |
| 写真 |
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| 仕様 | 主要な仕様 ：分解能： 3.0nm 加速電圧： 0.3～30kV 倍率： 5～30万倍 |
| 装置の概要 | 作製したデバイスの形状観察、膜やエッチング状態の観察など、MEMS製造プロセスの評価等で広範に使用する。 各種材料表面の走査電子顕微鏡像を取得できます。 また、試料ステージを約70°傾斜させることによって得られる電子線後方散乱回折図形を解析することにより、試料内の各結晶粒の結晶方位を測定することができます。 |
| 外部利用可否 | × |
| 管理責任者 | 李 昇原・都市デザイン学部 |
| 機器管理者 |
李 昇原・都市デザイン学部 |
| キャンパス | 五福 |
| 設置場所 | 材料棟1階 松田研 |
| 設置年度 | 1999年度 |
| 学内利用申請 | 指導教員から直接、管理者の先生にご連絡ください。 |